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        尼康的牛逼之處,就是人家是產(chǎn)業(yè)鏈集合,所有的零件都能自己搞定。

        但是,在進入九十年代,光刻機的生產(chǎn)商碰到了一個技術(shù)關(guān)卡:光刻機使用的光源是193納米的,它就限制了光刻機的繼續(xù)升級!

        想要凋刻東西越精細(xì),刀子就得越鋒利,193納米的激光已經(jīng)不夠細(xì)了,接下來該怎么辦呢?

        尼康作...p;尼康作為科技巨頭,想的辦法也很簡單,直接換用157納米的F2激光,這樣就能解決問題了。

        而為了對抗尼康成立的聯(lián)盟則押注更激進的極紫外技術(shù),將光源切換成十幾納米的極紫外光,這樣不僅僅能解決現(xiàn)有的問題,還能一直用到以后,刻十納米以下的芯片制程都沒問題。

        但是,這兩種技術(shù)都不容易,都面臨著技術(shù)難關(guān),這就是九十年代最出名的193納米關(guān)卡!

        凡是遇到難關(guān)的時候,總是有天才出現(xiàn)的,現(xiàn)在也不例外,一個名叫林本堅的鬼才工程師出現(xiàn)了。

        當(dāng)光線透過水之后,頻率不變,但是波長會發(fā)生變化,這就是水的折射率,所以,只要在光刻機的光源和硅片之間加一層水,讓原本的193納米的激光發(fā)生一次折射,不就能大大地降低了嗎?

        簡單計算就能知道,波長會降低到132納米!

        這樣,不僅僅能降低了光刻機的波長,刻蝕更加精密的電路,而且,對機器的改動還最小!

        以前的就叫做干刻法,現(xiàn)在可以叫做濕刻法了!

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