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        在這些溶液轉換之間,晶圓表面正與這些特殊的溶液發生反應,一些肉眼不可視的變化正在按照設計的預期緩緩發生……

        與硅基生產工藝側重物理工藝不同,目前碳基芯片的生產工藝更側重生化層面,面前這兩臺機器就是明證。

        這兩臺機器里面最為重要的是它們加注的特殊溶液,只有這些溶液與晶圓表面發生反應才可以加工出合格的晶圓,機器本身反而不重要,只要保持穩定運行就好。

        在實驗區外等候的眾人心里都像吊著一塊大石頭,這還是他們第一次把各個步驟整合起來進行實驗,也是第一次機器實驗。

        可領!

        之前的實驗他們都是依靠人工進行的,如果這次兩臺機器的運行成功的話,那么可以碳基芯片產業化的第一階段也算是成功了,日后這兩個工藝步驟只要改裝這兩臺機器就好。

        只不過兩分鐘的功夫,送進去的晶圓泡完了所有的溶液,在眾人期待的眼光下被送了出來。

        “快,看看碳管的組裝情況,另外把印刷機送出來的晶圓放到離子刻蝕機里面。”劉院士連忙指揮起來。

        現場的人們頓時忙碌起來,眾星捧月般護送著兩塊晶圓,其中一塊送到旁邊進行人工檢測,另一塊則送入刻蝕機進行再次加工。

        檢測就在現場舉行,檢測人員在工作臺上一番操作之后突然轉身,緊接著激動的聲音就傳了過來:“碳納米管的組裝沒有問題,與設計預期完全相符!”

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